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2023-10-25 发布于四川
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光学器件.pdf

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本发明提供一种光学器件，其具备：基板；光波导，其设置于所述基板上的规定区域并由电光材料膜形成；保护层，其邻接于所述光波导而形成；以及未透光的光波导，其设置于所述规定区域外，所述未透光的光波导的表面粗糙度为RMS0.5nm以上。根据本发明的光学器件，能够抑制在光波导上产生微裂纹，从而减小光的传输损耗。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116931166 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202210330416.4 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人 TDK株式会社地址日本东京都