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本申请提供的用于大口径反射镜面形主动校正的平衡力构建方法及构建系统,构建所述反射镜的n组平衡力;依次测量反射镜在所述n组平衡力作用下的响应面形;根据所述响应面形获取所述反射镜的响应函数;测量待校正的所述反射镜的面型误差;根据所述响应函数和面形误差求解校正所述反射镜的面形所需的校正力;根据所述校正力实现所述反射镜面形的校正。本申请提供的方法构建的所述平衡力具有对反射镜的合力和合力矩为0的性质,本申请上述方法和系统将平衡力用于校正力的计算,那么校正力对反射镜的合力和合力矩也均为0,避免了潜在的约束反
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116931260 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310944198.8
(22)申请日 2023.07.28
(71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物
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