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- 2023-10-25 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于晶圆清洗机的摇动装置，包括托盘，还包括摇动机构，所述托盘底部安装夹持晶圆并提供摇摆动力的摇动机构，所述摇动机构包括马达、弹簧、连接座、固定盘、支杆、辊轮、环槽和凸环，马达动力输出端与托盘底部相连接且马达外周端部固定连接有固定盘，马达运行时带动托盘和晶圆的转动，同时环槽和凸环转动，当凸环接触支杆顶部辊轮时会被顶起，使得靠近辊轮一侧的托盘向上翘起，如此循环实现托盘和晶圆在转动过程中的不断摇动，保证晶圆表面清洗的均匀性，减少人工劳动量，提高清洗质量。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219892148 U
(45)授权公告日 2023.10.24
(21)申请号 202321147566.8
(22)申请日 2023.05.13
(73)专利权人 浙江艾科半导体设备有限公司
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