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- 2023-10-29 发布于北京
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一、等离子 概述
等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种
状态存在,但在一些特殊的情况下会以第四种状态存在,如地球大气
中电离层中的物质——等离子体。等离子体状态中存在下列物质:处
于高速 状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团
(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质
在总体上仍保持电中性状态。
在真空腔体里,放入被 物,注入介质气体、通过射频电源起辉产
生高能量的等离子体。等离子体轰击被 物表面,与有机污染物发
生化学及物理作用,形成挥发性化合物,随工作
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