一种真空计在线校准装置及校准方法.pdfVIP

一种真空计在线校准装置及校准方法.pdf

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本发明属于真空测量技术领域,公开了一种真空计在线校准装置及校准方法,校准室的顶端设置相连通的微量调节阀;校准室上设置第四真空阀门、第五真空阀门和第六真空阀门,第五真空阀门上设置第一真空计接口,第六真空阀门上设置第二真空计接口;标准真空计通过第四真空阀门与校准室连接;第一真空阀门一端与机械泵连接,另一端与第五真空阀门和第六真空阀门均连接;校准室的底端通过第二真空阀门与机械泵的抽气口连通,并通过第三真空阀门与真空设备连通;真空显示仪表一端连接上位机;温湿度表设置在校准室一侧,用于检测现场温湿度。实现

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116952459 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310943844.9 (22)申请日 2023.07.28 (71)申请人 中国航发动力股份有限公司 地址

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