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- 2023-10-28 发布于四川
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本实用新型公开了一种硅片抛光承载装置，包括承载件位于所述承载件下方的支撑件和位于所述承载件外周的防护件，所述承载件和支撑件固定连接，所述防护件和所述支撑件螺栓连接。所述承载件包括一承载板和设置在所述承载板上的承载垫，所述承载垫为橡胶材质，硅片放置在所述承载垫上。在进行抛光时，硅片放置在承载垫上，外周通过防护件进行隔挡防护。因为承载板上设置有承载垫，在抛光时承载垫与硅片吸合，相较于黑绒布，橡胶材质可牢固地将硅片吸附住，使抛光过程硅片不会滑动，具有较好的防滑效果，避免抛光时在硅片表面造成划痕。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219901721 U
(45)授权公告日 2023.10.27
(21)申请号 202321162519.0
(22)申请日 2023.05.15
(73)专利权人 合盟精密工业（合肥）有限公司
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