半导体装置及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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半导体衬底(1)具有彼此相对的表面以及背面。栅极配线(2)以及第1及第2表面电极(3、4)形成于半导体衬底(1)的表面。第1及第2表面电极(3、4)通过栅极配线(2)而彼此分割开。绝缘膜(7)覆盖栅极配线(2)。电极层(8)跨过栅极配线(2)而形成于绝缘膜(7)以及第1及第2表面电极(3、4)之上。背面电极(9)形成于半导体衬底(1)的背面。第1镀敷电极(10)形成于电极层(8)之上。第2镀敷电极(11)形成于背面电极(9)之上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110178202 A (43)申请公布日 2019.08.27 (21)申请号 20178

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