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带电粒子束装置以及清洁方法.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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带电粒子束装置以及清洁方法.pdf

    本发明提供一种带电粒子束装置，具备载置试样的工作台、将上述试样上的污染物质除去的清洁器、以及在上述清洁器的使用时通过使上述工作台移动来调节上述清洁器与上述试样的相对位置关系的工作台控制部。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111033678 A (43)申请公布日 2020.04.17 (21)申请号 20178

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