基板处理方法及基板处理装置.pdfVIP

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2023-10-28 发布于四川
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基板处理方法及基板处理装置.pdf

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基板处理方法包含：亲水性膜形成液供给步骤，将在基板的主面上形成亲水性膜的亲水性膜形成液，朝上述基板的主面进行供给；膜厚降低液供给步骤，将通过使上述亲水性膜溶解而降低上述亲水性膜的厚度的膜厚降低液，朝上述基板的主面进行供给；处理膜形成液供给步骤，在通过上述膜厚降低液供给步骤使上述亲水性膜的厚度降低后，朝上述基板的主面供给处理膜形成液，该处理膜形成液在上述亲水性膜的表面形成用于保持存在于上述基板的主面上的去除对象物的处理膜；以及剥离液供给步骤，将从上述亲水性膜剥离上述处理膜的剥离液，朝上述基板的主面

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116964716 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202180095377.8 (74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司