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一种基于MEMS的片上连续非易失调节结构.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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一种基于MEMS的片上连续非易失调节结构.pdf

    本发明公开了一种基于MEMS的片上连续非易失调节结构。包括基底、调节器和制动器；调节器包括传动杆、固定岛弹簧结构和单向静电梳驱动器；传动杆为十字形结构，制动器包括制动杆、两对固定岛弹簧结构、一组双向静电梳驱动器和机械停止结构，制动杆为长条形结构，制动杆的制动端用于与传动杆的制动端接触连接通过范德华力对传动杆制动。本发明实现了大范围连续非易失调节的功能，能降低网络的功耗，具有功耗低、调节范围大、制作工艺简单、灵活性强和不会引入额外损耗等显著优势。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116953844 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310718125.7 (22)申请日 2023.06.16 (71)申请人 浙江大学 地址 310058

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