一种提高Q值的FBAR谐振器.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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本发明提供的一种提高Q值的FBAR谐振器,所述谐振器包括:衬底、布拉格反射层、两个电极和压电薄膜;所述衬底的上表面铺设有所述布拉格反射层;所述布拉格反射层的上表面与一个电极连接;所述一个电极与另一个电极之间设置有压电薄膜层。将电极形状设计为与声波速度快慢变化一致的梯度,声波速度在不同方向的差异,电极中心距边缘的距离也呈现差异,并保证声波到达边缘的时间相同,从而形成有效反射,提高Q值。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116961617 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310720317.1 (22)申请日 2023.06.19 (71)申请人 苏州科技大学 地址 215000

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