一种LED外延芯片制备方法及装置.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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本发明涉及切割技术领域,具体涉及一种LED外延芯片制备方法及装置,LED外延芯片制备装置包括工作台、调整组件、驱动组件、夹持组件和刀片,调整组件包括两个立板、两个导轨、滑动座和第一螺杆,工作台用于放置外延片,转动第一螺杆可以驱动滑动座水平滑动,并随时锁定滑动座的位置,夹持组件用于夹持安装刀片,驱动组件可以带动刀片上下移动,实现切割动作,使用时,将外延片放置在工作台上,转动第一螺杆,水平移动滑动座,从而水平调整刀片,使得刀片移动到外延片需要切割的位置上方,然后驱动组件带动刀片下移,对外延片进行切割

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116960234 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310053981.5 (22)申请日 2023.02.03 (71)申请人 桂林光隆科技集团股份有限公司 地址

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