一种低噪声集成式生物光电极微探针及制备方法.pdfVIP

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2023-10-28 发布于四川
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一种低噪声集成式生物光电极微探针及制备方法.pdf

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本发明公开了一种低噪声集成式生物光电极微探针及制备方法，微探针包括：发光二极管、具有差分功能的多个微电极对、噪声隔离槽和外接电路；其中，发光二极管结构依次包括：衬底材料、n型氮化镓、有源层、p型氮化镓、透明导电层、绝缘钝化层、发光二极管阳极和阴极结构，用于发光并激活生物神经细胞；各微电极对包括用于检测生物信号的第一微电极和用于采集噪音以对生物信号进行差分处理并提高信噪比的第二微电极，微电极对沿纵轴方向对称设置在绝缘钝化层上；噪声隔离槽贯穿至衬底材料，用于分隔发光二极管阳极与微电极对以降低噪音；外

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116960212 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310904269.1 (22)申请日 2023.07.21 (71)申请人中山大学地址 510275