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光刻光源装置和光刻机.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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光刻光源装置和光刻机.pdf

    本实用新型公开了一种光刻光源装置和光刻机，属于光刻机技术领域。光刻光源装置包括承载架，承载架包括环形主体、第一安装座和若干个沿所述环形主体径向延伸的连接导杆，所述连接导杆的第一端与所述环形主体的内壁面连接，所述连接导杆的第二端与所述第一安装座的外壁面连接，所述第一安装座用于安装第一LED光刻光源；若干个第二安装座，滑动设置于所述连接导杆上，所述第二安装座用于安装第二LED光刻光源；聚散度调节组件与若干个所述第二安装座传动连接，用于驱动若干个所述第二安装座同时靠近或远离所述第一安装座。本实用新型能

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219916176 U (45)授权公告日 2023.10.27 (21)申请号 202321287017.0 (22)申请日 2023.05.25 (73)专利权人 广东中图半导体科技股份有限公

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