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一种光学膜厚监控系统.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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一种光学膜厚监控系统.pdf

    本申请提供一种光学膜厚监控系统，应用于光学膜厚监控技术领域，中光学膜厚监控系统包括：单波长系统、宽光谱分析仪、光源组件和接收器，所述光源组件包括光源和监控件，所述光源用于发射光线，所述监控件设置在所述光源的照射路径上，所述监控件具有用于形成膜的表面。所述接收器的输入端对应在所述照射路径上，用于接收穿过监控件和膜后的光线，所述接收器的输出端分别连接所述单波长系统和宽光谱分析仪的输入端，用于通过所述单波长系统，和/或，宽光谱分析仪监测所述膜的厚度。相比于单独采用单波长光学膜厚在线控制系统或单独采用宽

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219914339 U (45)授权公告日 2023.10.27 (21)申请号 202320843201.2 (22)申请日 2023.04.14 (73)专利权人 中山吉联光电科技有限公司 地址

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