半导体器件环境可靠性测试方法和系统.pdfVIP

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2023-10-28 发布于四川
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半导体器件环境可靠性测试方法和系统.pdf

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本发明提供一种半导体器件环境可靠性测试方法和系统，涉及测试技术领域，所述方法包括：将场效应管划分为多个测试批次；将测试组中的场效应管放置于多种测试环境中；将对照组中的场效应管放置于对照环境中；为相同测试批次的场效应管的栅极施加相同的栅极电压，并分别为各个场效应管的漏极施加多种漏极电压，获得漏极电流；根据测试环境的变化频率和变化幅度、漏极电压和漏极电流，获得场效应管的可靠性评分；根据场效应管的可靠性评分，确定环境可靠性。根据本发明，可使测试环境的温度和湿度中的至少一种发生变化，从而测试场效应管在多

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116953466 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202311218176.X (22)申请日 2023.09.21 (71)申请人江苏摩派半导体有限公司地址 2