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小平面平面度误差在线检测系统的研制的中期报告 一、项目概述 本项目目标是研制一款可在线检测小平面平面度误差的系统。该系统应能够快速、精准地检测出小平面的平面度误差，并能够实时输出检测结果。 二、进展情况 1.需求调研 我们通过对用户需求的调研，了解到用户需要检测的小平面尺寸通常在10mm * 10mm以内，平面度精度需求高，要求误差在1μm以下。同时，用户希望检测系统具有高效稳定的性能，以及易于操作和维护的特点。 2.技术研究 我们对小平面平面度误差检测技术进行了深入研究和实验验证，初步确定采用白光干涉技术作为检测手段。同时，我们还开展了机器视觉算法研究，找到了适用于小平面平面度误差检测的算法。 3.系统设计 我们完成了小平面平面度误差在线检测系统的整体设计，包括硬件和软件两部分。硬件部分主要包括光学系统、机械结构、图像采集设备、控制电路等；软件部分主要包括图像处理算法、数据处理与分析等。 4.系统实现 我们已完成系统的部分零部件的选购、加工和组装，同时进行了系统集成调试。当前系统已经可以进行初步的小平面平面度误差检测。 三、下一步工作 1.完善系统 系统硬件组装和集成调试仍在继续，尚需进一步完善光学系统和机械结构等零部件，并进行全面测试和调试。同时，需继续完善软件算法和界面设计，使得系统操作和数据分析更加便捷可靠。 2.实现指标要求 系统需要满足小平面在10mm * 10mm以内的平面度精度需求，要求误差在1μm以下。我们将继续优化检测方法、算法和系统性能，以实现这一指标要求。 3.考虑匹配更广泛的应用领域 今后，我们将探索拓展小平面平面度误差在线检测系统的应用领域，例如汽车工业、电子制造业和航空航天等领域，以扩大系统的市场影响力。