大直径硅单晶及新型半导体材料相关行业项目操作方案
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大直径硅单晶及新型半导体材料相关行业项目操作方案
目录
TOC \h \z 25923 概论 3
20229 一、产品规划 3
17273 (一)、产品规划 3
17248 (二)、建设规模 4
5267 二、大直径硅单晶及新型半导体材料项目建设地方案 5
13360 (一)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目选址原则 5
18919 (二)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目选址 6
24711 (三)、建设条件分析 7
13580 (四)、用地控制指标 8
20290 (五)、用地总体要求
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