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一种磁悬浮分子泵电机反电动势检测装置及检测方法.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种磁悬浮分子泵电机反电动势检测装置及检测方法.pdf

    本发明公开了一种磁悬浮分子泵电机反电动势检测装置及检测方法，其属于电机检测领域。其技术要点在于：检测工位组件包括：密封法兰、气杆组件；所述气杆组件带动所述密封法兰上下升降；所述密封法兰能够对磁悬浮分子泵的泵口密封；真空管路组件括：前级泵、真空波纹管、真空挡板阀、三通；所述真空波纹管的一端与所述前级泵相连，另一端与所述三通的一端相连；所述三通的另外两端分别和真空挡板阀和磁悬浮分子泵连接；所述模拟数据采集及中控模块用于控制磁悬浮分子泵的通电以及记录电机自由降速过程的波形。采用本申请的技术方案，能够解

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116973753 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202311234148.7 (22)申请日 2023.09.24 (71)申请人 苏州中科科仪技术发展有限公司 地址

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