一种用于超精密机床的支撑系统及方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约3.05万字
约 24页
2023-11-01 发布于四川
举报
版权申诉

一种用于超精密机床的支撑系统及方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请涉及超精密机床技术领域，具体提供了一种用于超精密机床的支撑系统及方法，该系统包括：多个支撑组件，矩形阵列在机床基座的底部，其支撑高度可调；控制器，用于在检测到悬空的支撑组件时升高该悬空的支撑组件的支撑高度和/或降低与该悬空的支撑组件相邻的支撑组件的支撑高度；控制器还用于在超精密机床的左右两侧不平衡时降低左右两侧中支撑压力信息较大的支撑组件的支撑高度和/或升高左右两侧中支撑压力信息较小的支撑组件的支撑高度；控制器还用于在超精密机床的前后两侧不平衡时，降低前后两侧中支撑压力信息较大的支撑组件的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116967793 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202311210167.6 (22)申请日 2023.09.19 (71)申请人季华实验室地址 528200