有机EL器件的制造方法.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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有机EL器件的制造方法.pdf

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抑制发光器件的高电压化，该发光器件包括与有机化合物层接触地形成氧化铝膜的工序。提供一种有机EL器件的制造方法。在第一电极上形成有机化合物膜，在有机化合物膜上形成包含对水或以水为溶剂的药液的溶解度低的有机化合物的有机掩模膜，在有机掩模膜上形成无机掩模层，通过利用无机掩模层加工有机掩模膜及有机化合物膜的形状来形成有机掩模层及有机化合物层，使用水或以水为溶剂的液体来去除无机掩模层及有机掩模层的至少一部分。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116981325 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310429642.2 H10K 50/11 (2023.01)