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一种原子气室及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种原子气室及其制作方法.pdf

    提供了一种原子气室及其制作方法，所述原子气室包括第一玻璃片、第二玻璃片和硅晶圆，硅晶圆具有贯穿其彼此相对的第一硅晶圆表面和第二硅晶圆表面的通孔；第一玻璃片覆盖于第一硅晶圆表面上，且第二玻璃片覆盖于第二硅晶圆表面上，以使通孔形成密闭的空腔；硅晶圆还包括设置于第一硅晶圆表面上的沟槽以及设置于沟槽内的第一改性层，沟槽的一端与空腔相连通。该原子气室能够使金属蒸汽取向凝结于沟槽内，并且相邻的分级沟槽单元的表面张力差产生的驱动力可将凝聚的液态金属牵引远离空腔的方向，避免了金属蒸汽在光学窗口内表面发生凝结从而

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116969413 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202210424710.1 (22)申请日 2022.04.21 (71)申请人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿

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