用于高弯曲晶片的静电卡盘基座加热器.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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用于高弯曲晶片的静电卡盘基座加热器.pdf

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一种静电卡盘(ESC)基座加热器，包括基座主体和基座主体上用于接收诸如高弯曲晶片的衬底的表面。电极嵌入在基座主体中，以选择性地产生静电力。ESC基座加热器包括衬底接触表面，其被提升到高于基座主体上的表面的高度，并且包括延伸的内部密封带、中间密封带和外部密封带。在衬底接触表面中，提供了从内部密封带向外延伸到外部密封带的主辐条，并且可以在中间和外部密封带之间的区域中在主辐条之间提供辅助辐条。此外，在带和辐条之间的空间中的衬底接触表面中提供接触区域或点。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116978848 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310461367.2 (22)申请日 2023.04.25 (30)优先权数据