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本发明涉及高光谱和时间分辨率的辉光放电光谱测定设备和方法,该辉光放电光谱测定设备(100)包括辉光放电灯(1)和适于接收由辉光放电等离子体(2)发射的光束(20)的光学发射光谱仪。根据本发明,光学发射光谱仪包括:色散光学部件(7)和中阶梯光栅(8),被布置并配置为形成光束的二维光谱(26),二维光谱(26)被色散成多个衍射级(P1,…Pj,…PT),多个衍射级(P1,…Pj,…PT)沿着第一方向(X)延伸,并且每个衍射级(P1,…Pj,…PT)根据横向于第一方向(X)的第二方向(Y)光谱地延伸;
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116973355 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310485276.2
(22)申请日 2023.04.28
(30)优先权数据
2204104 20
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