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一种超薄晶圆残胶清洗机.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种超薄晶圆残胶清洗机.pdf

    本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，公开一种超薄晶圆残胶清洗机，所述残胶清洗机包括：机座和工作板；所述机座上固定设有清洗台，清洗台上安装有若干个喷头，工作板转动设置在清洗台上，且工作板上固定有超薄晶圆，喷头采用中间疏两端密的方式设置在超薄晶圆上方，用于对超薄晶圆进行残胶清洗，所述清洗台上开设有贯穿槽，贯穿槽内固定设有导轨，导轨上安装有工作板。本实用新型超薄晶圆残胶清洗机，其中通过切割模框将超薄晶圆固定在清洗机上，采用中间疏两端密的喷头设计，对超薄晶圆进行清洗，不会损伤超薄晶圆，且清洗效果好，装载切

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219937004 U (45)授权公告日 2023.10.31 (21)申请号 202321249440.1 (22)申请日 2023.05.22 (73)专利权人 绍兴同芯成集成电路有限公司 地址

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