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本发明提供一种泛半导体行业良率异常共通性分析系统，其特征在于，包括：产履历数据获取及存储单元，用于获取各个站点各个机台的生产履历数据，并按照预定格式进行存储；共通性分析设置单元，用于对所述生产履历数据进行共通性分析设置；共通性分析结果展示单元，通过图表形式展示共通性分析结果。本发明利用机器学习的方式对生产履历数据进行挖掘，快速锁定良率异常高发站点、机台，突破在大量站点、机台情况下传统分析结果不准确问题，辅助用户高效分析异常。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116993219 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202311010591.6
(22)申请日 2023.08.11
(71)申请人 上海哥瑞利软件股份有限公司
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