一种适应性强且夹取稳定的晶圆衬底清洗设备.pdfVIP

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2023-11-04 发布于四川
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一种适应性强且夹取稳定的晶圆衬底清洗设备.pdf

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本发明公开了一种适应性强且夹取稳定的晶圆衬底清洗设备，涉及晶圆衬底清洗技术领域，一种适应性强且夹取稳定的晶圆衬底清洗设备，包括箱体，箱体下表面与积水底座固定相连，箱体设有插入孔，箱体设有第一支架，第一支架设有滑槽，滑槽内设有滑动板，滑动板设有滑动底座，积水底座设有传送轨道，传送轨道连接有衔接块，衔接块连接有旋转电机，旋转电机连接有对称的第三支架，第三支架设有伸缩电机，传送轨道设有挡水板，挡水板设有对称的进水管，进水管设有喷水头，两根进水管之间设有旋转电机，旋转电机连接有清洗刷。本发明夹取晶圆衬底

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116994991 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202310951608.1 B08B 1/02 (2006.01) (22)申请日 2023.07.3