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- 2023-11-04 发布于四川
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本发明提供了一种增强NdFeB基永磁厚膜垂直磁各向异性的方法。该方法通过在NdFeB基永磁厚膜生长过程中插入隔离层，将NdFeB基单层厚膜变成NdFeB基多层厚膜，显著增强了其垂直磁各向异性。所述隔离层是指高熔点非铁磁性金属Ta、Mo和W等，通过改变隔离层的厚度和层数，其磁性能变化明显。本发明解决了随着厚度增长NdFeB基永磁厚膜垂直磁各向异性下降的问题，可得到强垂直磁各向异性和高矫顽力的NdFeB基永磁厚膜，在微型永磁电机、微电机械系统以及微型传感器中具有实际应用价值。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115020099 A
(43)申请公布日 2022.09.06
(21)申请号 202210582217.2
(22)申请日 2022.05.26
(71)申请人 中国科学院金属研究所
地址 110
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