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本申请提供了吸附膜、晶圆检测系统和晶圆检测方法，所述吸附膜设置有一个或多个通孔；所述吸附膜用于设置于载物台上，以在所述吸附膜上设置所述晶圆；其中，所述载物台用于制造负压环境，以通过部分或全部通孔吸附所述晶圆。本申请在载物台上设置具有通孔的吸附膜，在吸附膜上设置晶圆，并通过载物台制造负压环境，可以通过部分或全部通孔将翘曲严重的晶圆吸附于载物台上，使得同一载物台可以对多种尺寸的晶圆进行检测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116995018 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202310900810.1
(22)申请日 2023.07.21
(71)申请人 苏州纳维科技有限公司
地址 21
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