一种晶圆片均匀铺粉机.pdfVIP

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2023-11-04 发布于四川
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本发明涉及晶圆片的技术领域，具体为一种晶圆片均匀铺粉机，包括机架、用于放置晶圆片的放片盒、铺粉装置，所述铺粉装置包括原料筒、导向筒、铺料板，所述机架上竖直固定设置有第一气缸，所述第一气缸的伸缩轴上固定连接有放置座，所述导向筒固定设置在放置座上，所述机架上设置有转向板，所述放片盒放置在转动板上，所述放片盒位于导向筒的下方，所述放置座上开设有落料口，所述落料口上转动设置有转动环，铺料板固定设置在转动环上，进行铺粉时，所述铺料板位于放片盒中，所述放片盒底部铺好粉形成粉层，所述晶圆片放置在粉层后，在晶圆

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116994986 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202310868268.6 (22)申请日 2023.07.17 (71)申请人厦门捷希自动化科技有限公司地址