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本发明公开了基于相位干涉技术的3D显微轮廓测量机构及测量方法，属于测量设备领域。基于相位干涉技术的3D显微轮廓测量机构，包括工作台，所述工作台的上方放置有样品工件，所述样品工件的上方设置有3D显微镜轮廓仪本体；本发明通过围挡组件、摇摆组件和吹气组件的配合下，在测量前对样品工件表面喷涂时，对样品工件的表面区域进行罩住围挡防护，避免喷涂产生的喷涂液四溅到工作台上，同时避免外部环境对样品工件在测量时造成影响，且在喷涂时利用围挡组件的动力驱动摇摆组件运行，使得喷涂的涂层更加均匀，在喷涂时可避免雾化的液体
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116989695 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202310995759.7
(22)申请日 2023.08.09
(71)申请人 苏州中科视瀚自动化科技有限公司
地
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