一种具有定位加工的集成电路工艺测试机.pdfVIP

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2023-11-04 发布于四川
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一种具有定位加工的集成电路工艺测试机.pdf

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本实用新型公开了一种具有定位加工的集成电路工艺测试机，包括外壳、支撑架、活塞缸、连接板，所述外壳的顶部与支撑架的底部固定连接，所述支撑架内部的顶部与活塞缸的顶部固定连接，所述活塞缸的输出端与连接板的顶部固定连接，所述连接板的底部与压力传感器的顶部固定连接，所述压力传感器的输出端与压块的顶部固定连接，所述支撑架的正面固定连接有显示器。本实用新型通过设置抽气泵，将密封橡胶内空气抽走，利用负压吸附原理对集成电路进行吸附定位，由于抽气泵和密封橡胶均位于集成电路的下方，压块在对集成电路进行挤压时，不会将抽

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219957784 U (45)授权公告日 2023.11.03 (21)申请号 202321332499.7 (22)申请日 2023.05.30 (73)专利权人宏硕（深圳）科技有限公司地址