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本发明涉及金属抛光设备技术领域,更具体地,涉及一种水车式电流变抛光电极及抛光机。其中水车式电流变抛光电极包括抛光电极,所述抛光电极的外表面上设有多个凸起。本发明克服了现有技术中抛光导体工件时抛光液悬浮颗粒会板结在导体工件表面而降低抛光效率的不足,通过在抛光电极表面设置凸起将导体工件表面的悬浮颗粒吸附至凸起表面从而避免抛光液在导体工件表面的板结,可提高导体工件的抛光效率;除此之外,凸起可以将抛光液提起,因此工件不仅可以安装在抛光电极下方并且浸泡在抛光液中,还可以安装在抛光电极的上方,通过抛光电极将
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116985026 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202310876551.3 B24B 47/22 (2006.01)
(22)申请日 2023.07.
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