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一种静电吸盘、蚀刻系统以及顶片方法.pdfVIP

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  • 2023-11-04 发布于四川
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一种静电吸盘、蚀刻系统以及顶片方法.pdf

    本发明涉及一种静电吸盘、蚀刻系统以及顶片方法。静电吸盘包括盘体，盘体上划分有至少两个静电区域，静电区域受控制相独立的进行解吸附；至少两组设于静电区域内的顶针，不同组的顶针分别设于不同的静电区域；顶针受控制以组为单元相独立进行升降；顶针完全降下时，不凸出静电吸盘的置物平面，顶针完全升起时，至少部分凸出静电吸盘的置物平面。本发明的静电吸盘能够更好的避免静电吸盘上的电压电荷分布不均的问题，降低外延片的破片率，且顶针分组灵活控制，有利于进一步降低外延片的破片率。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116995014 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202210441148.3 (22)申请日 2022.04.25 (71)申请人 重庆康佳光电技术研究院有限公司 地

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