电阻应变式传感器课件.pptxVIP

电阻应变式传感器 电阻式传感器的基本原理：将被测物理量的变化转换成电阻值的变化，再经相应的测量电路显示或记录被测量值的变化。其种类繁多，应用广泛。 按照其工作原理可分为：变阻器(电位器)式、电阻应变式、固态压阻式、热敏电阻式、气敏电阻式、磁敏电阻式等。 电阻应变式传感器是基于测量物体受力变形所产生应变的一种传感器，最常用的传感元件为电阻应变片。 电阻式传感器 固态压阻式传感器 半导体单晶硅材料在受到外力作用，产生肉眼根本察觉不到的极微小应变时，其原子结构内部的电子能级状态发生变化，从而导致其电阻率剧烈的变化，由其材料制成的电阻也就出现极大变化，这种物理效应叫压阻效应。利用压阻效应原理，采用三维集成电路工艺技术及一些专用特殊工艺，在单晶硅片上的特定晶向，制成应变电阻构成的惠斯登检测电桥，并同时利用硅的弹性力学特性，在同一硅片上进行特殊的机械加工，集应力敏感与力电转换检测于一体的力学量传感器，称为固态压阻传感器。以气、液体压强为检测对象的则称为固态压阻压力传感器。 固态压阻式传感器 主要特点：1. 灵敏度高 2. 精度高 3. 体积小、重量轻、动态频响高 4. 性能稳定、可靠性高 5. 温度系数小 6. 适应介质广 7. 安全防爆 在以大规模集成电路技术和计算机软件技术为特色的智能传感器技术中，由于它能做成单片式多功能复合敏感元件来构成智能传感器的基础