一种多晶硅还原炉抛光清洁装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.34千字
约 10页
2023-11-04 发布于四川
举报
版权申诉

一种多晶硅还原炉抛光清洁装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种多晶硅还原炉抛光清洁装置，具体涉及清洁装置领域，包括支撑板、支腿、底板、进液管、出液管以及炉体，支撑板底端设置有多个支腿，支撑板底端中部安装有底板，底板底部对称安装有进液管和出液管，支撑板顶端支撑安装有炉体，支撑板两侧对称安装有夹持机构，两个夹持机构对炉体两侧进行夹持压接，底板中部安装有抛光清洁机构，抛光清洁机构顶端插入炉体内部，抛光清洁机构两侧安装有伸缩杆，两个伸缩杆顶端插入炉体内部且与抛光清洁机构顶端衔接。本实用新型具有方便对炉体进行固定，防止炉体在抛光清洁时产生振动，且

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219945681 U (45)授权公告日 2023.11.03 (21)申请号 202320058659.7 (74)专利代理机构河南企睿专利代理有限公司