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本申请公开了一种切割保护液、其制备方法与应用,切割保护液包括高分子聚合物和有机溶剂;高分子聚合物具有键合有烷氧基硅烷的第一分子链、键合有疏水基团的第二分子链和键合有亲水基团的第三分子链,第一分子链、第二分子链和第三分子链依次连接。该切割保护液能够适应于不同形状的基材,贴合基材表面,在基材表面形成完整的保护膜;并且,该保护膜具有碱敏感性,在切割工艺完成后,保护膜能够被碱性溶剂完整除去,清洗工艺简单。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116987426 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202310755490.5 C08F 220/14 (2006.01)
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