一种基于激光工艺的微型LED巨量转移装置及方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约7.82千字
约 8页
2023-11-04 发布于四川
举报
版权申诉

一种基于激光工艺的微型LED巨量转移装置及方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种基于激光工艺的微型LED巨量转移装置及方法，属于微型LED巨量转移技术领域；解决了激光转移中问题激光烧蚀牺牲层产生冲击波，且激光照射在芯片上易对芯片造成热损伤造成巨量转移良率与转移效率低的问题；包括自上而下依次设置的驱动层、可膨胀微球层、封装薄膜层和粘性层，其中驱动层内部设置有多个空腔，每个空腔内设置有可膨胀微球层，所述封装薄膜层设置在驱动层下方，粘性层设置在封装薄膜层的下方，用于与待转移的microLED接触，在驱动层顶部通过激光进行照射，激光透过驱动层照射在空腔内，使可膨胀

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116995017 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202310832129.8 (22)申请日 2023.07.07 (71)申请人山西高科视像科技有限公司地址