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电容式传感器 第五章 工作原理与特性 §5-1 1. 工作原理 口电容传感器是以各种类型的电容器作为传 感元件，将被测参数微小变化的信息转换 成电容量的变化，然后通过测量电路转换 成电压输出。 平板电容为: A —— 极板面积 d—— 极板间距 0 —— 真空介电常数 r —— 极板介质的相对介电常数 A 一、变极距型电容式传感器 口 变极距型电容式传 感器的结构原理如 图所示。如果两极 板间相互覆盖的面 积及极间介电常数 不变，则当极距有 一微小变化时，引 起电容量的变化为： 由此可得到传感器的灵敏度为： 电容量的变化通过差动电桥叠加，使灵敏度提 高了1倍，线性工作区扩大．而且减小了静电 引力给测量带来的影响，消除了由于温度等环 境影响所造成的误差， 工作稳定性较好，还能 反映被测位移的方向。 口变极距型电容传感器适用于较小位移(0.01μm至 数百微米) 口在实际应用中常采用差动 型电容式传感器。中间极 板为动片，两边极板为定 片。当动片移动距离x后， 一边的间隙为δ-x，而另一 边的间隙为δ+x 。两边 一、变极距型电容式传感器 三、变介电常数型电容式传感器 口这是一种利用介质介电常数 的变化将被测量转换为电量