一种MEMS热式麦克风及其实现方法[发明专利].pdfVIP

专利内容由知识产权出版社提供 专利名称：一种MEMS热式麦克风及其实现方法 专利类型：发明专利 发明人：朱哲政,杨凌濛,杨振川,高成 ,郝一龙 申请号：CN202110959816.7 申请日 公开号：CN113613150B 公开日 摘要：本发明公开了一种MEMS热式麦克风及其实现方法。本发明在衬底上形成背腔 ，将敏感梁 置于背腔上 ，并在背腔上设置上盖板形成驻波管 ；声波从驻波管的管 口进入至驻波管内，声压变化引 起敏感梁上的温度发生扰动 ；同时 ，声波入在驻波管的管底即背腔的表面反射形成驻波 ，驻波管的管 底是硬声场边界 ，保证声粒子振速为零 ，敏感梁处的声压为驻波管的管 口入射声压的两倍 ，因此敏感 梁的温度只与入射声压成正比 ，不会受到声粒子振速的影响，消除谐波失真 ；本发明的麦克风结构与 热式声粒子振速传感器类似 ，制造工艺相同，能够在同一个芯片上完成声压和声粒子振速的测量。 申请人：北京大学 地 ：100871 北京市海淀区颐和园路5号 国籍：CN 代理机构：北京万象新悦知识产权代理有限公司 代理人：王岩 更多信息请下载全文后查看