AMHS在集成电路产业的发展趋势分析.pdfVIP

AMHS在集成电路产业的 发展趋势分析 上海新创达智能科技有限公司 (上海新创达智能科技有限公司，上海 201306) 摘 要 ：阐述 了AMHS技术在集成 电路制造产业 的发展历程 ，并结合 AMHS系统的优势和 国内 外技术现状 ，通过分析 国内集成 电路产业的发展趋 势 ，认为开发适用于国 内集成 电路生产厂家的 AMHS系统是未来AMHS系统 的一个发展趋势。 关键词 ：自动物料搬运系统 ；空 中走行式无人搬送车 ；空中走行式穿梭车 中图分类号 ：TN401 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4507(2018)03．0004．03 AnalysisoftheDevelopmentTrendofAM HSin IntegratedCircuitIndustry ShanghaiNew ChuangdaTechnologyCorporation (