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本发明实施例公开了一种正交偏振光调控装置、干涉仪和光栅位移测量系统。其中，通过设置双频激光器和第一沃拉斯顿棱镜，其中双频激光器出射第一光束和第二光束，所述第一光束包括第一线偏振光，所述第二光束包括第二线偏振光，所述第一线偏振光与所述第二线偏振光的偏振方向垂直；第一渥拉斯顿棱镜用于将所述第一线偏振光以第一预设角度出射，将所述第二线偏振光以第二预设角度出射，可以实现完全正交的两束线偏振光。本发明实施例解决了现有激光器难以满足测量系统对线偏振光偏振正交的要求，能够实现高偏振线性度及正交度的入射光，保证
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117008350 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202210471210.3 G01B 11/02 (2006.01)
(22)申请日 2022.04.
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