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质谱仪及其真空系统的形成方法.pdfVIP

质谱仪及其真空系统的形成方法.pdf

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    本发明提供一种质谱仪及其真空系统的形成方法，质谱仪具有与外部环境仅通过真空接口连通的气密性的腔室，该腔室包括第一腔室和第二腔室，第二腔室内设有吸附泵，第一腔室与第二腔室之间通过限流结构连通。本发明技术方案可以适用于台式甚至便携式质谱仪，兼顾此类质谱仪对于低耗能、小型化以及真空度的要求。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117012610 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202210471228.3 (22)申请日 2022.04.28 (71)申请人 株式会社岛津制作所 地址 日本国

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