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- 2023-11-08 发布于四川
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本发明提供了一种分光组件、调焦测量系统及光刻机，分光组件包括若干功能面，每个所述功能面均包括至少一个透/反面组，每个所述透/反面组均包括透射面和反射面，探测光束入射至相应的所述功能面上时，所述透射面透过探测光束的一部分，所述反射面反射所述探测光束的剩余部分，以将所述探测光束分成两个探测子光束。利用本发明中的分光组件对被基底的表面反射后形成的探测光束进行分光，形成构成差分信号的两个探测子光束，根据两个所述探测子光束的能量差即可得到所述基底的离焦量，无需驱动机构，稳定性更高，且色散低、结构简单、集成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117008424 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202210476362.2
(22)申请日 2022.04.29
(71)申请人 上海微电子装备（集团）股份有限公
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