基于瞬态照明的超分辨光刻分辨力增强方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.62万字
约 16页
2023-11-08 发布于四川
举报
版权申诉

基于瞬态照明的超分辨光刻分辨力增强方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本公开提供一种基于瞬态照明的超分辨光刻分辨力增强方法，包括：S1，根据掩模参数优化设计稳态照明下的光源波长、超透镜各膜层参数；S2，根据各膜层参数进行瞬态照明下的成像光场仿真，获取目标分辨力下光刻胶中心达到成像对比度要求且总光场能量占比最大时所对应的瞬态照明参数，并确认相应的曝光时间段；S3，通过参数扫描仿真微调瞬态照明下的超透镜各膜层结构参数，获取目标分辨力下光刻胶中心达到成像对比度要求且总光场能量占比最大时所对应的各膜层结构优化参数；S4，根据瞬态照明参数、曝光时间段和各膜层结构优化参数进行

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117008427 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202311030916.7 (22)申请日 2023.08.15 (71)申请人中国科学院光电技术研究所地址