一种基于晶粒分割网络的晶圆晶粒缺陷检测方法及系统.pdfVIP

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2023-11-08 发布于四川
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一种基于晶粒分割网络的晶圆晶粒缺陷检测方法及系统.pdf

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本发明涉及图像处理技术领域，尤其涉及一种基于晶粒分割网络的晶圆晶粒缺陷检测方法及系统，该方法的步骤包括：采集晶圆图像以及晶圆图像对应的生产工艺编号；对晶圆图像进行预处理得到晶圆图像块，所述预处理包括滑动裁切、高光抑制和数据增强；构建晶粒分割网络，通过编码器和解码器对晶圆图像块进行晶粒分割得到分割后的晶粒；构建缺陷检测网络，对分割后的晶粒进行缺陷检测得到晶圆图像块中的缺陷晶粒；统计晶圆图像块中缺陷晶粒数量，对缺陷晶粒数量大于阈值的晶圆图像块进行缺陷标记；综合缺陷标记和生产工艺编号对晶粒缺陷来源进行

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117007606 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202311035077.8 G06N 3/08 (2023.01) (22)申请日 2023.08.1