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本实用新型提供了一种硅片下料一体机,涉及硅片生产设备领域。通过输送装置能够承接前段工序生产好的硅片并将其输送,而后通过转运装置的吸附部将该硅片吸附并将其转运至下料装置的收集部处,再通过驱动机构驱动对中机构朝向该收集部运动,以使得归正部能够与收集部的侧部对应贴合,从而实现将由吸附部释放的硅片整理收纳的技术效果。相较于现有的仅通过运输皮带与人工配合来完成硅片下料收集的方式,本设备能够将硅片的下料与收集功能集于一体,并通过相应的机械结构完成,如此有效地提高了硅片下料收集的效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219971132 U
(45)授权公告日 2023.11.07
(21)申请号 202321045263.5
(22)申请日 2023.04.28
(73)专利权人 江苏利元亨智能
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