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一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统.pdfVIP

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  • 2023-11-08 发布于四川
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一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统.pdf

    本申请涉及一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统，涉及晶体生长设备技术领域，一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统包括筒体、观察镜片和防护镜片，筒体能够倾斜设置在炉体上并与炉体连通，观察镜片和防护镜片均置于筒体内且观察镜片和防护镜片的外周均与筒体的内壁抵接，防护镜片相较于观察镜片更靠近筒体与炉体的连通处。本申请中的防护镜片能够有效地阻挡炉体内产生的氟化氢进入筒体内腐蚀观察镜片，防止观察镜片被腐蚀后产生的化合物污染炉内环境和原料，本申请具有提高观察镜片稳定性的效果。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219972566 U (45)授权公告日 2023.11.07 (21)申请号 202321669752.8 (22)申请日 2023.06.28 (73)专利权人 北京奇峰蓝达光学科技发展有限

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