干涉式三维表面形貌测量仪校准规范.pdfVIP

干涉式三维表面形貌测量仪校准规范 1 范围 本规范适用于干涉式三维表面形貌测量仪的校准，其它基于干涉原理的显微 镜校准也可参照本规范。 2 引用文件 本规范引用下列文件。 JJG 77 干涉显微镜检定规程 GB/T 19067.1 产品几何技术规范（GPS ）表面结构轮廓法测量标准第一部分： 实物测量标准 ISO 25178-604: 2013 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构:区域法—第604部分： 非接触式(相干扫描干涉法)仪器的标称特性（Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Areal—Part 604 : Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments ） 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的 引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。 3 概述 干涉式三维表面形貌测量仪基于双光束干涉的原理，经样品表面反射回的参 考光与测量光形成干涉条纹，并经由 CCD 采集，经过算法重构获得表面形貌，在 垂直方向上可以达到亚纳米级的分辨力，其结构示意图见图 1。 1—高速 CCD ；2—成像透镜；3—分光镜；4—物镜；5—参考镜；6—分光镜；7—水平位移机 构（样品台）；8—二维倾斜调整机构；9—复合光源；10—准直透镜；11—计算机（画线） 图 1 干涉式三维表面形貌测量仪结构示意图（光路走向） 1 4 计量特性 4.1 垂直方向长度测量误差 4.2 垂直方向长度测量重复性 4.3 水平方向长度测量误差 4.4 水平方向长度测量重复性 4.5 水平方向正交误差 4.6 测量噪声 4.7 残余平面度 5 校准条件 5.1 环境条件 5.1.1 温度：（20±1 ）℃，温度变化量：0.5℃/h 。 5.1.2 相对湿度：≤65% 。 5.1.3 校准用标准器与被校仪器等温时间不少于 0.5 h 。 5.1.4 实验室内应无影响校准结果的振动、电磁辐射等因素。 5.2 校准项目和校准用标准器 干涉式三维表面形貌测量仪校准项目和校准用标准器见表 1。 表 1 干涉式三维表面形貌测量仪校准项目和校准用标准器 序号 校准项目 物镜倍率 M 标准器 技术要求 垂直方向长度 1 台阶高度/沟槽深度 测量误差 / 标准台阶/ 凹槽 （20~10000 ）nm 垂直方向长度 2 U ≤1%, k=2 测量重复性 rel 栅格平均间距（20~100 ）µm 50× 水平方向长度 一维标准立体 U ≤0.5%, k=2 rel 3 测量误差 栅格 栅格平均间距（5~20 ）µm ≥50×