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SiC基晶圆级石墨烯材料新型制备技术及其性能研究 SiC基晶圆级石墨烯材料新型制备技术及其性能研究 摘要：随着石墨烯在电子器件领域中的广泛应用，对其制备技术的研究变得尤为重要。本文通过综述SiC基晶圆级石墨烯材料的新型制备技术及其性能研究，总结了该领域的最新进展，旨在为石墨烯的工业化生产提供理论和实践指导。 1. 引言石墨烯作为一种具有特殊物理性质的二维材料，其优异的导电性能和机械性能使其在电子领域受到广泛关注。在晶圆级石墨烯材料的制备过程中，SiC基底的选择和制备技术对最终产品的质量和性能具有重要影响。 2. SiC基底的选择SiC基底作为晶圆级石墨烯材